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2024-01-03
“邊膠”的產(chǎn)生及改善厚膠旋涂和方形襯底勻膠時(shí)邊緣會(huì)形成較厚的光刻膠膠邊即邊膠,邊膠是硅片邊緣形成的厚度不均勻的膠層,不僅影響晶圓的外觀還對(duì)接觸式光刻工藝產(chǎn)生影響,光刻、顯影等過(guò)程產(chǎn)生缺陷,芯片性能降低:由于邊緣光刻膠的溶劑殘留量高,即使在前烘后,掩膜板也會(huì)粘附【詳細(xì)】
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西安干泵-維修業(yè)務(wù),愛(ài)德華干泵維修,愛(ài)發(fā)科ULVAC 低溫泵冷泵,
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