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      勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



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      勻膠機_如何選購
      目前勻膠機市場品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
      來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時間: 2020-03-27 | 132 次瀏覽 | 分享到:

      1、旋轉(zhuǎn)速度:

      轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。

      如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的,每次還不一樣,國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。

      2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造 

      真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。

      用過勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點只有專業(yè)生產(chǎn)勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。 

      3、 材質(zhì)的選擇 
      對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前采用的是 PEEK|PSS材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。 
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