1、旋轉(zhuǎn)速度:
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。
如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的,每次還不一樣,國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。
真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。
用過勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點只有專業(yè)生產(chǎn)勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。