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2024-08-28
2024-02-23
2024-01-31
2024-01-29
2024-01-26
2024-01-19
2024-01-17
2024-01-16
2024-01-11
2024-01-03
“邊膠”的產(chǎn)生及改善厚膠旋涂和方形襯底勻膠時(shí)邊緣會(huì)形成較厚的光刻膠膠邊即邊膠,邊膠是硅片邊緣形成的厚度不均勻的膠層,不僅影響晶圓的外觀還對(duì)接觸式光刻工藝產(chǎn)生影響,光刻、顯影等過(guò)程產(chǎn)生缺陷,芯片性能降低:由于邊緣光刻膠的溶劑殘留量高,即使在前烘后,掩膜板也會(huì)粘附【詳細(xì)】
2024-08-28
中國(guó)“勻膠顯影機(jī)”行業(yè)市場(chǎng)前景分析預(yù)測(cè)報(bào)告
2020-03-27
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