按照刻蝕方式和所使用的物質(zhì)不同，刻蝕可以分為干法刻蝕和濕法刻蝕兩類。

濕法刻蝕： (Wet Etch)是一個純粹的化學(xué)反應(yīng)過程，是指將待刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù)。

優(yōu)點(diǎn):設(shè)備簡單、重復(fù)性好、成本低、刻蝕速度快、生產(chǎn)效率高；

缺點(diǎn):具有各向同向，橫向刻蝕的寬度接近垂直刻蝕的深度，光刻膠下面會有刻蝕液的滲入，導(dǎo)致鉆刻嚴(yán)重，對圖形的控制性較差，不能用于小的特征尺寸，很難處理非常精細(xì)的電路圖:會產(chǎn)生大量的化學(xué)廢液；

因?yàn)闈穹涛g存在不容忽視的刻蝕偏差，所以一般用于晶圓磨片、拋光、清洗等環(huán)節(jié)。