一、光刻膠的分類

        光刻膠是一種在半導體制造中使用的材料，用于制造微芯片和集成電路。光刻膠的分類通?？梢曰谝韵聨讉€方面：

1.化學成分： 光刻膠可以根據其化學成分的不同進行分類，分為正性光刻膠和負性光刻膠。正性光刻膠是光照射不到的地方留下圖形。負性光刻膠是光照射到的地方留下圖形。例如：

正膠（Positive Photoresist）： 曝光后變得更容易被溶解的光刻膠，未曝光區(qū)域保留。常見的正膠有novolac型正膠等。

負膠（Negative Photoresist）： 曝光后變得更難被溶解的光刻膠，曝光區(qū)域保留。負膠的例子包括methacrylate型負膠等。

2.敏感波長： 光刻膠對曝光的光波長也有不同的選擇，例如：

紫外線光刻膠（UV Photoresist）： 對紫外線敏感，常見波長為365nm或248nm。

深紫外線光刻膠（DUV Photoresist）： 對更短波長的深紫外線（193nm或更短）敏感，用于更高分辨率的制程。

3.用途和性能： 光刻膠還可以根據其在制造過程中的具體用途和性能進行分類，例如：

用于多層工藝的光刻膠： 適用于多次重復光刻步驟的材料。

高溫光刻膠： 能夠在高溫條件下保持穩(wěn)定性的光刻膠，用于某些特殊制程。

以上是光刻膠涂布工藝一些常見的分類方式，具體的分類還可能涉及到更多的特性和要求，根據具體應用和工藝的需要而選擇不同類型的光刻膠。

二、光刻膠涂布工藝感光機理

      光刻膠涂布是半導體制造中的關鍵工藝步驟，用于制備芯片上的圖案。以下是光刻膠涂布工藝和感光機理的基本概念：

光刻膠涂布工藝：

基片準備： 首先，硅基片會經過一系列清洗和處理步驟，以確保表面干凈，并且能夠更好地與光刻膠結合。

涂布光刻膠： 在基片表面涂布光刻膠，通常采用旋涂的方式。旋涂是將光刻膠滴在基片上，然后通過旋轉基片使其均勻分布。

預烘烤： 涂布后，光刻膠需要進行短暫的預烘烤，以去除溶劑，使其更加均勻。

曝光： 使用光刻機，通過光掩模將光刻膠的特定區(qū)域曝光于紫外光。光刻機會投射光刻膠表面的圖案，使其在曝光區(qū)域發(fā)生化學或物理變化。

后烘烤： 曝光后，光刻膠需要進行后烘烤，以進一步固化和穩(wěn)定曝光后的圖案。

顯影： 通過顯影液處理，去除未曝光區(qū)域的光刻膠，留下曝光區(qū)域的圖案。

清洗： 最后，清洗基片以去除顯影液等殘留物，準備進行下一步工藝。

感光機理：

光刻膠的感光機理涉及到化學反應。在曝光過程中，光刻膠中的感光劑會吸收紫外光能量，導致發(fā)生化學變化。這種變化通常表現為感光膠的溶解性或化學性質的改變。具體感光機理可能因所使用的光刻膠而異，但一般包括以下步驟：