勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)主要用于晶片涂光刻膠用或溶膠-凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制備。

勻膠機(jī)的基本原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，

滴注各類膠液利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，膜的厚度與膠液的粘稠度、膠液與基片間的粘滯系數(shù)、轉(zhuǎn)數(shù)、旋涂時(shí)間都有關(guān)系

一般情況下，轉(zhuǎn)速在2000rpm以上時(shí)就可以使絕大多數(shù)的膠體均勻分布，主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，。

勻膠機(jī)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜。

通常固定樣品的方式有兩種：真空吸盤固定樣品、帶卡槽的樣品盤固定樣品。用真空吸盤固定樣品時(shí)需要有抽真空的裝置，真空吸附適用于固定表面光滑，平整度好，受真空吸力不變形的基片；

帶卡槽的樣品盤可用于質(zhì)軟、形狀不規(guī)則的、尺寸較大的基片的固定。