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      勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



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      勻膠機(jī)_如何選購(gòu)
      目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
      來(lái)源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 | 7858 次瀏覽 | 分享到:

      1、旋轉(zhuǎn)速度:

      轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。

      如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機(jī)圖冊(cè)差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,每次還不一樣,國(guó)產(chǎn)的大部分低端勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。

      2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造 

      真空泵一定要無(wú)油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。

      用過(guò)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題,這一點(diǎn)只有專業(yè)生產(chǎn)勻膠機(jī)做得不錯(cuò),他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。 

      3、 材質(zhì)的選擇 
      對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前采用的是 PEEK|PSS材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)?!?/span>
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