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方形基片勻膠機(jī),主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機(jī))
大尺寸玻璃片勻膠機(jī)、方形基片顯影機(jī)等勻膠、顯影、清洗工藝
大尺寸的玻璃以及厚度在20MM以?xún)?nèi)的基片
光刻膠及化學(xué)藥液的供給系統(tǒng)可選
方形基片勻膠機(jī),型號(hào)M+/C450-40,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機(jī))、大尺寸玻璃片勻膠機(jī)、方形基片顯影機(jī)等勻膠、顯影、清洗工藝
玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm);
方便手動(dòng)放置、提取基片-主軸可做升降運(yùn)動(dòng);
自動(dòng)完成基片進(jìn)行滴膠、布膠、勻膠等工藝;
自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)--(可選);
真空系統(tǒng)根據(jù)工藝--(可選);
金屬外殼材料,鑲嵌式固定方式。
工藝涂布效果圖: