彎月牙涂膠基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm)
供膠系統(tǒng)及膠液裝置為移動部件
玻璃及被涂物品為固定不變
移動速度及高度差均可調(diào)
用途:主要用于光阻涂膠工藝,原理是借用于液體的漲力原理進行彎月牙涂膠,主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。
一、產(chǎn)品使用范圍:
? 彎月牙涂膠基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm);
? 液體膠刀的有效尺寸為:420mm:
二、設備概述:此膠狹縫系統(tǒng)包括供膠系統(tǒng)、精密膠刀、平面度調(diào)節(jié)機構(gòu)、膠盒移動等部件組成。
? 供膠系統(tǒng):伺服電機帶動磁力泵供給膠刀,回流過濾循環(huán)供給,膠泵采購進口壓力流量可調(diào)的磁力泵。
? 精密膠刀:膠刀出液狹縫可調(diào),可適應100CP-200CP的光阻藥液。同時出液的高度(0.15-0.25mm)通過調(diào)整泵的供壓力及狹縫配合來調(diào)
? 面度調(diào)節(jié)機構(gòu):膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內(nèi)的螺釘進行調(diào)平,膠刀與連接平面也可調(diào)整,膠刀與基板的平面通過機械方式也可調(diào)整。
? 利用電磁閥及氣缸來實現(xiàn)膠盒蓋的上下、左右方向的移動。
三、設備控制設計:
? 供泵系統(tǒng)膠泵為伺服電機,膠泵的壓力、流速通過調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速控制。
? 膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥(氣缸都裝有上下,左右位置檢測傳感器)。
? 基板移動加有接近開關(guān)(主要用于檢測基板是否移過)。