愛姆加電子設(shè)備
勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商
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12英寸自動勻膠顯影機－愛姆加電子
發(fā)布時間: 2020-03-24 17:23
Pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影
Wafer Size: 12英寸全自動勻膠顯影一體機
設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計，不受外環(huán)境干擾
晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
(SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）
同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行
自帶暫停/恢復(fù)功能,以及故障排除功能，排風(fēng)自動調(diào)節(jié)（可選）
自動勻膠顯影機
使用范圍：
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影；
產(chǎn)能：預(yù)估100wafer/H;
產(chǎn)品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產(chǎn)品、邏輯類、存儲類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領(lǐng)域。
· 全自勻膠顯影技術(shù)指標：
· 1、Camber根據(jù)用戶要求可選配
· 2、主軸速度:50-6000rpm
· 3、THC&FFU等功能
· 4、EBR&BSR功能
· 5、PR數(shù)量可選配（標配2路）
中國西安市未央?yún)^(qū)石化大道南徐寨工業(yè)園愛姆加電子
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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