勻膠、刮膠、彎月面涂膠方法的區(qū)別

一、旋涂（spin　coater）：

      對于大尺寸的基板是很難實現(xiàn)勻膠的，所以人們想出一種叫刮膠，這種工藝相對比較差點，但對于用戶來說，可以滿足他們的需求就OK了，所以這種對膠厚及膠膜要求不高的工藝還是可以滿足的，同時刮膠的成本相對比較低點（相對于大尺寸），同時國外對于全息光柵的勻膠是很的，所以他們基片是用旋涂的方式，如全球最大ＪＹ的全息光柵，這個公司的光柵也是不便宜的，可是他們目前能做到的尺寸也是很牛的，如現(xiàn)在基片是他們能做到1050×570×50mm的基板尺寸，他們采購是超大的旋涂工藝，因為他們基本上做的全息光柵是用在軍工方面，很小在市場上流通，對于他們的技術(shù)也是很少在網(wǎng)上能看到，所以他們做一塊全息光柵的成本也高，但這個市場的需求很少，同時價格也昂貴，初步預(yù)估一塊在合人民幣在1000萬元以下。因為用的玻璃都基本上等同于K9玻璃或高于K9玻璃的質(zhì)量，所以質(zhì)量是非常重的，這里面就考慮到了運(yùn)動慣量的特性，如果一臺旋涂機(jī)的主軸電機(jī)慣量不在匹配的范圍內(nèi)，所以是無法轉(zhuǎn)動起來的。同時安全系數(shù)很重要，對是超出１米的直徑的基板，旋轉(zhuǎn)起來的的線速度完全是高于我們生活中見的子彈飛的速度還要高，可想安全必須得到保障的。

       但在在咱們國內(nèi)基片是用的涂膠是刮涂，所以質(zhì)量也上不去，同時也沒有見過國外的涂膠設(shè)備，所以還是用最低段的方法，這個完全不能責(zé)怪每個搞科研的人員，因為大尺寸基本上用在軍工，所以每個國家對這方面是保密或有限制，同時在國內(nèi)的五大研究所也不會進(jìn)行技術(shù)方面的交流，我們愛姆加公司做到國內(nèi)相對大尺寸的旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)，但是他們對這方面的技術(shù)以及工藝等等是不會進(jìn)行交流的。所以這個科研的成果是不會分享的！

是這全息光柵的旋涂光阻測量設(shè)備，同時也帶檢測，所以這么貴的工件，基本是機(jī)械手來實現(xiàn)的。因而配套的裝置也是很多，相對成本也很高，在國內(nèi)的研究機(jī)構(gòu)想申請點項目，就一臺旋涂勻膠機(jī)把所有的經(jīng)費(fèi)用完了，還玩什么。所以用刮膠的相對就多。

二、刮涂設(shè)備（Slot Die Coater）：

          國內(nèi)現(xiàn)在好多大尺寸的都用刮涂設(shè)備，因為他們也基本上很小見過大尺寸的旋涂、以及成本等方面的考量，對于刮涂工藝是國內(nèi)基本上都叫這個名字，但是還有一個術(shù)名叫狹縫涂膠機(jī)（國外的英語名：Slot Die Coater），不管叫什么名字，原理是一樣的，所以這種方種對于部份行業(yè)是可用的，同時也完全滿足要求，但是相對于半導(dǎo)體、顯示器、全息光柵的涂膠工藝是完全不能達(dá)到指標(biāo)了，部份廠商還在用，說明他們的產(chǎn)品質(zhì)量是無法提高的，也是性能指標(biāo)不會提高的。刮涂膠的主要的工件是膠刀，日本翻譯過來叫液刀，對這個液刀對于清清、吹干的刀，又是完全兩個層面的要求，以下是液刀的圖片。