勻膠、刮膠、彎月面涂膠方法的區(qū)別

一、旋涂（spin　coater）：

      對于大尺寸的基板是很難實現(xiàn)勻膠的，所以人們想出一種叫刮膠，這種工藝相對比較差點，但對于用戶來說，可以滿足他們的需求就OK了，所以這種對膠厚及膠膜要求不高的工藝還是可以滿足的，同時刮膠的成本相對比較低點（相對于大尺寸），同時國外對于全息光柵的勻膠是很的，所以他們基片是用旋涂的方式，如全球最大ＪＹ的全息光柵，這個公司的光柵也是不便宜的，可是他們目前能做到的尺寸也是很牛的，如現(xiàn)在基片是他們能做到1050×570×50mm的基板尺寸，他們采購是超大的旋涂工藝，因為他們基本上做的全息光柵是用在軍工方面，很小在市場上流通，對于他們的技術也是很少在網上能看到，所以他們做一塊全息光柵的成本也高，但這個市場的需求很少，同時價格也昂貴，初步預估一塊在合人民幣在1000萬元以下。因為用的玻璃都基本上等同于K9玻璃或高于K9玻璃的質量，所以質量是非常重的，這里面就考慮到了運動慣量的特性，如果一臺旋涂機的主軸電機慣量不在匹配的范圍內，所以是無法轉動起來的。同時安全系數(shù)很重要，對是超出１米的直徑的基板，旋轉起來的的線速度完全是高于我們生活中見的子彈飛的速度還要高，可想安全必須得到保障的。

       但在在咱們國內基片是用的涂膠是刮涂，所以質量也上不去，同時也沒有見過國外的涂膠設備，所以還是用最低段的方法，這個完全不能責怪每個搞科研的人員，因為大尺寸基本上用在軍工，所以每個國家對這方面是保密或有限制，同時在國內的五大研究所也不會進行技術方面的交流，我們愛姆加公司做到國內相對大尺寸的旋轉涂膠機，但是他們對這方面的技術以及工藝等等是不會進行交流的。所以這個科研的成果是不會分享的！

是這全息光柵的旋涂光阻測量設備，同時也帶檢測，所以這么貴的工件，基本是機械手來實現(xiàn)的。因而配套的裝置也是很多，相對成本也很高，在國內的研究機構想申請點項目，就一臺旋涂勻膠機把所有的經費用完了，還玩什么。所以用刮膠的相對就多。

二、刮涂設備（Slot Die Coater）：

          國內現(xiàn)在好多大尺寸的都用刮涂設備，因為他們也基本上很小見過大尺寸的旋涂、以及成本等方面的考量，對于刮涂工藝是國內基本上都叫這個名字，但是還有一個術名叫狹縫涂膠機（國外的英語名：Slot Die Coater），不管叫什么名字，原理是一樣的，所以這種方種對于部份行業(yè)是可用的，同時也完全滿足要求，但是相對于半導體、顯示器、全息光柵的涂膠工藝是完全不能達到指標了，部份廠商還在用，說明他們的產品質量是無法提高的，也是性能指標不會提高的。刮涂膠的主要的工件是膠刀，日本翻譯過來叫液刀，對這個液刀對于清清、吹干的刀，又是完全兩個層面的要求，以下是液刀的圖片。

還是一個最重要的工件就是運動平臺，若你的平面精度達不到，也是很難實現(xiàn)的膠膜的均勻性更好的，這里我們就想一個的真理，好的設備不是一個工件重要，也是每個部件都是很重要的?，F(xiàn)在顯示屏領域的顯示屏生產TFT、OLED也用這種方式， 因為顯示器對膠的要求不是很高。

三、彎月面涂膠方式　Meniscus　Coating

     NEW optical coating materials and laser technologies have created a need for large optics with uniform, ultrathin coatings that are applied from liquid solutions. Such devices are used, for example, in high-power laser systems at LLNL and elsewhere. To manufacture these optics, coatings a micron in thickness or less need to be deposited with extreme uniformity—to within a few percent—across the entire clear aperture, which can be on the order of a square meter in size. Micron- and submicron-scale films have been traditionally applied from liquid solutions by spin coating or dip coating. However, spin coating massive optics at the high rates needed to achieve a uniform film is not practical and wastes the coating fluid. Dip coating requires large volumes of expensive coating fluids and risks intercontamination of materials in a multilayer application.

 以下給大家提供的資料是我從國外的一些研發(fā)人員手

中得到，也是國外相對于大尺涂膠機的一個新型方法，

他們原理我也不多說，一看就明白，但是對于尺寸的涂膠機來說，他的效果是優(yōu)于刮膠的，同時膠的厚度也是可以控制的。它也是對平臺是很重要，同時膠刀也是它的主要部件，目前咱們國內有兩家在使用這樣的設備，生產商都出自于愛姆加電子，因為部份關系到保密，很小在網上找到相對的圖片與文本資料。所以這個我就不多講了，只要你們能知道這個方式就ＯＫ了，同時這個方式國外以及在使用。