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      勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



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      SiC全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
      愛姆加公司針對(duì)于SiC工藝生產(chǎn)的勻膠顯影在生產(chǎn)線已得到了驗(yàn)證,同時(shí)碎片也得到了提高,因SiC材料本身硬而脆,稍有碰撞就會(huì)易碎。
      來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 | 43094 次瀏覽 | 分享到:

                                                                                                       SiC全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
      SIC勻膠顯影機(jī)

             

       

            碳化硅磨料通常以石英、石油焦炭為主要原料。它們在備料工序中經(jīng)過機(jī)械加工,成為合適的粒度,然后按照化學(xué)計(jì)算,混合成為爐料。磨料調(diào)節(jié)爐料的透氣性,在配爐料時(shí)要加適量的木屑。制煉綠碳化硅時(shí),爐料中還要加適量的食鹽。

        爐料裝在間歇式電阻爐內(nèi)。電阻爐兩端是端墻,近中心處有石墨電極。爐芯體即連于兩電極之間。爐芯周圍裝的是參加反應(yīng)的爐料,外部則是保溫料。制煉時(shí),電爐供電,爐芯體溫度上升,達(dá)到2600~2700℃。電熱通過爐芯表面?zhèn)鹘o爐料,使之逐漸加熱,達(dá)到1450℃以上時(shí),即發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成碳化硅,并逸出一氧化碳。隨著時(shí)間的推移,爐料高溫范圍不斷擴(kuò)大,形成的碳化硅也越來越多。它在爐內(nèi)不斷形成,蒸發(fā)移動(dòng),結(jié)晶長大,聚集成為一個(gè)圓筒形的結(jié)晶筒。結(jié)晶筒的內(nèi)壁因受高溫,超過2600℃的部分就開始分解。分解出的硅又與爐料中的碳結(jié)合而成為新的碳化硅。爐自送電初期,電熱主要部分用于加熱爐料,而用以形成碳化硅的熱量只是較少的一部分。送電中期,形成碳化硅所用的熱量所占比例較大。送電后期,熱損失占主要部分。調(diào)整送電功率與時(shí)間的關(guān)系,優(yōu)選出最有利的停電時(shí)間,以期獲得最好的電熱利用率。大功率電阻爐通常選擇送電時(shí)間在24小時(shí)左右,以利作業(yè)安排。在此基礎(chǔ)上,調(diào)整電爐功率與爐子規(guī)格的關(guān)系。

      電阻爐送電過程中,除了形成碳化硅這一基本反應(yīng)外,爐料中各種雜質(zhì)也發(fā)生一系列化學(xué)的和物理的變化,并發(fā)生位移。食鹽亦然。爐料在制煉過程中不斷減少,爐料表面變形下沉。反應(yīng)所形成的一氧化碳則彌漫于大氣中,成為污染周圍大氣的有害成分。? 停電后,反應(yīng)過程基本結(jié)束。但由于爐子很大,蓄熱量就很大,一時(shí)冷卻不了,爐內(nèi)溫度還足以引起化學(xué)反應(yīng),因此,爐表面仍繼續(xù)有少量一氧化碳逸出。對(duì)于大功率電爐來說,延續(xù)的殘余反應(yīng)可達(dá)3~4小時(shí)。這時(shí)的反應(yīng)比起送電時(shí)的反應(yīng)來說,是微不足道的。但因?yàn)楫?dāng)時(shí)爐表面溫度已經(jīng)下降,一氧化碳燃燒更不徹底。從勞動(dòng)保護(hù)角度來說,仍應(yīng)予以足夠重視。?停電后經(jīng)過一段時(shí)間冷卻,就可以拆除爐墻,然后逐步取出爐內(nèi)各種物料。?????制煉后爐內(nèi)的物料,從外到里,構(gòu)成下列各物層:

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