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      勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



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      SiC全自動勻膠顯影機(jī)
      愛姆加公司針對于SiC工藝生產(chǎn)的勻膠顯影在生產(chǎn)線已得到了驗(yàn)證,同時(shí)碎片也得到了提高,因SiC材料本身硬而脆,稍有碰撞就會易碎。
      來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 | 43115 次瀏覽 | 分享到:

                                                                                                       SiC全自動勻膠顯影機(jī)
      SIC勻膠顯影機(jī)

             

       

            碳化硅磨料通常以石英、石油焦炭為主要原料。它們在備料工序中經(jīng)過機(jī)械加工,成為合適的粒度,然后按照化學(xué)計(jì)算,混合成為爐料。磨料調(diào)節(jié)爐料的透氣性,在配爐料時(shí)要加適量的木屑。制煉綠碳化硅時(shí),爐料中還要加適量的食鹽。

        爐料裝在間歇式電阻爐內(nèi)。電阻爐兩端是端墻,近中心處有石墨電極。爐芯體即連于兩電極之間。爐芯周圍裝的是參加反應(yīng)的爐料,外部則是保溫料。制煉時(shí),電爐供電,爐芯體溫度上升,達(dá)到2600~2700℃。電熱通過爐芯表面?zhèn)鹘o爐料,使之逐漸加熱,達(dá)到1450℃以上時(shí),即發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成碳化硅,并逸出一氧化碳。隨著時(shí)間的推移,爐料高溫范圍不斷擴(kuò)大,形成的碳化硅也越來越多。它在爐內(nèi)不斷形成,蒸發(fā)移動,結(jié)晶長大,聚集成為一個(gè)圓筒形的結(jié)晶筒。結(jié)晶筒的內(nèi)壁因受高溫,超過2600℃的部分就開始分解。分解出的硅又與爐料中的碳結(jié)合而成為新的碳化硅。爐自送電初期,電熱主要部分用于加熱爐料,而用以形成碳化硅的熱量只是較少的一部分。送電中期,形成碳化硅所用的熱量所占比例較大。送電后期,熱損失占主要部分。調(diào)整送電功率與時(shí)間的關(guān)系,優(yōu)選出最有利的停電時(shí)間,以期獲得最好的電熱利用率。大功率電阻爐通常選擇送電時(shí)間在24小時(shí)左右,以利作業(yè)安排。在此基礎(chǔ)上,調(diào)整電爐功率與爐子規(guī)格的關(guān)系。

      電阻爐送電過程中,除了形成碳化硅這一基本反應(yīng)外,爐料中各種雜質(zhì)也發(fā)生一系列化學(xué)的和物理的變化,并發(fā)生位移。食鹽亦然。爐料在制煉過程中不斷減少,爐料表面變形下沉。反應(yīng)所形成的一氧化碳則彌漫于大氣中,成為污染周圍大氣的有害成分。? 停電后,反應(yīng)過程基本結(jié)束。但由于爐子很大,蓄熱量就很大,一時(shí)冷卻不了,爐內(nèi)溫度還足以引起化學(xué)反應(yīng),因此,爐表面仍繼續(xù)有少量一氧化碳逸出。對于大功率電爐來說,延續(xù)的殘余反應(yīng)可達(dá)3~4小時(shí)。這時(shí)的反應(yīng)比起送電時(shí)的反應(yīng)來說,是微不足道的。但因?yàn)楫?dāng)時(shí)爐表面溫度已經(jīng)下降,一氧化碳燃燒更不徹底。從勞動保護(hù)角度來說,仍應(yīng)予以足夠重視。?停電后經(jīng)過一段時(shí)間冷卻,就可以拆除爐墻,然后逐步取出爐內(nèi)各種物料。?????制煉后爐內(nèi)的物料,從外到里,構(gòu)成下列各物層:

      (1)未經(jīng)反應(yīng)的物料? ????這部分爐料在制煉時(shí)未達(dá)到反應(yīng)溫度,因而不起反應(yīng),只起保溫作用,它在爐中所占的位置叫保溫帶。保溫帶爐料與反應(yīng)帶爐料的配制方法、制煉后該部位爐料的利用方法不盡相同。有一種工藝方法,在保溫帶的特定區(qū)域內(nèi)裝爐時(shí)裝以新料,制煉后取出配到反應(yīng)料中去,這就叫做焙燒料。若將保溫帶上未反應(yīng)的料經(jīng)再生處理,稍加焦炭及適量木屑,配制成保溫料重新利用,就稱之為乏料。

      (2)該層物料實(shí)際上是半反應(yīng)的料,主要是還未反應(yīng)的碳和二氧化硅,也有一部分為已經(jīng)反應(yīng)成的碳化硅(約占20~50%)。未反應(yīng)的二氧化硅和碳,其形態(tài)已經(jīng)發(fā)生很大變化,因此不同于乏料。氧碳化硅層的二氧化硅及碳已不現(xiàn)原來的外貌,兩者結(jié)合成為灰色或黃色的無定形物料。但它們結(jié)合的很松散,冷卻后輕輕一壓就會成為粉末。而乏料中的二氧化硅,其粒度大小與形狀都與投爐前差不多,只不過透明度變化了。炭粉也只是燒結(jié)成較大的粒,并除去了揮發(fā)分而已。因此,氧碳化硅層是很容易辨認(rèn)的。
      (3)粘合物層? ????粘合物層是介于氧碳化硅與無定形物層之間的、粘結(jié)很緊的物料,含有較多的鐵、鋁、鈣、鎂等雜質(zhì),其量若用金屬氧化物表示的話。可達(dá)5~10%。粘合物的物相組成,主要是未反應(yīng)的二氧化硅、碳和所形成的碳化硅(SiC約占40~60%)及鐵、鋁、鈣、鎂的硅酸鹽類。這層物料有時(shí)很難與氧碳化硅及無定形物加以分辨。但如果爐內(nèi)雜質(zhì)多時(shí),此層就很分明,特別是在黑碳化硅爐內(nèi)。?

      (4)無定形物層? ????無定形物層主要是立方碳化硅(β-SiC),其主要成分為碳化硅(約占70~90%),還有較多的反應(yīng)不完全的碳及二氧化硅,而鐵、鋁、鈣、鎂等金屬氧化物含量合計(jì)可達(dá)2~5%。該層物料較松散,很容易弄碎使之成為粉末狀。黑碳化硅爐內(nèi)的無定形物通常呈黑色,綠碳化硅爐內(nèi)的無定形物多數(shù)為黃綠色,也有在外部呈黑色而向內(nèi)則逐漸呈灰黃、黃綠色的。無定形物層一般較均勻。當(dāng)所用原料二氧化硅顆粒太粗、焦炭中固定碳太低時(shí),無定形物層有時(shí)有較多的小泡狀空洞。?
      (5)二級品碳化硅? ????該層已經(jīng)成α-SiC,但結(jié)晶較小,很脆弱,雜質(zhì)也較多,碳化硅含量只有90~95%,還不能作磨料用。二級品與無定形物外觀上很易分辨。無定形物層β-SiC如粉末狀,無光澤,而二級品為六方結(jié)晶體,晶面清晰,有光澤,如鏡面反光。二級品與一級品無本質(zhì)上的差別,在結(jié)晶筒上分為二級品層與一級品層,完全是人為地按用途及質(zhì)量要求劃分的。而上述的其他料層,有些則是物料本質(zhì)不同,外觀差別很大;有些則自然粘結(jié)成層。與無定形物一樣,二級品層有時(shí)也有小泡狀空洞。

      (6)一級品碳化硅結(jié)晶塊? ????這是電阻爐的主要產(chǎn)品,是粗大的α-SiC結(jié)晶,SiC含量在96%以上。其厚度視爐功率及部位不同為50~450mm不等。結(jié)晶粗大緊密,有黑色的或綠色的。?

       


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