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適應(yīng)尺寸:200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片-具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能
型號(hào):M+-DS200C 主要特點(diǎn):
適應(yīng)尺寸:200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片
具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能
主軸采用德國(guó)進(jìn)口電機(jī)及部件
電機(jī)精度±1RPM
FFU功能(可選)型號(hào):M+-DS200C 主要特點(diǎn):
適應(yīng)尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片
具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能
主軸采用德國(guó)進(jìn)口電機(jī)及部件
調(diào)整±1RPM
FFU功能(可選)