勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，

膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度

旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱(chēng)謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，

又稱(chēng)甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、

旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液，

利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，

也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)

勻膠機(jī)技術(shù)指標(biāo)：

1.主軸轉(zhuǎn)速： 　　　200～8000RPM，精度±1RPM，轉(zhuǎn)速可調(diào)。

2.主軸加速度：　 　30000RPM/S，連續(xù)可調(diào)（只對(duì)涂膠）

3.工藝工步時(shí)間：　 0～999.9秒，設(shè)定增量±0.1秒

4.電源條件：　　 　AC220V±10％，50Hz，總功率1.5KW

5.真空條件：            真空度≤-0.085Mpa，