愛姆加電子設(shè)備
勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商
誠(chéng)信創(chuàng)新
專注
精工
專注成就品質(zhì)，品質(zhì)塑造未來！
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
發(fā)布時(shí)間: 2020-03-24 16:35
Wafer Size: 2-12英寸（兼容尺寸依據(jù)客戶晶圓尺寸可選）
全自動(dòng)勻膠顯影一體機(jī)
設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計(jì)，不受外環(huán)境干擾
設(shè)備實(shí)現(xiàn)2"-12"晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
(SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）
同片盒內(nèi)每個(gè)硅片可分別制定工藝運(yùn)行
自帶暫停/恢復(fù)功能,以及故障排除功能，排風(fēng)自動(dòng)調(diào)節(jié)（可選）
全自動(dòng)勻膠顯影
產(chǎn)品特點(diǎn)及基本配置：
同一設(shè)備實(shí)現(xiàn)2"-12"晶圓
涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復(fù)功能
同片盒內(nèi)每個(gè)硅片可分別制定工藝運(yùn)行
設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計(jì)，不受外環(huán)境干擾
可獨(dú)立增加層流罩，提升小環(huán)境潔凈度
干濕分離，電液分隔
維護(hù)省力、簡(jiǎn)便
勻膠單元-顯影機(jī)-OVEN單元（HMDS+HP+CP）
下一個(gè)：
無
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15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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