對(duì)于大批量生產(chǎn)的用的勻膠顯影機(jī)的ＯＶＥＮ單元，為什么在硅晶圓等基片與熱板是非接觸的，這樣的設(shè)計(jì)的理念是有一定的科學(xué)依據(jù)的，熱的傳遞方式無非就三種：傳導(dǎo)、輻射、對(duì)流等方式，非接觸實(shí)現(xiàn)了最后兩種科學(xué)經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于熱板的均勻性有大大的提高，所以對(duì)晶圓的烘烤均勻性好！