一、產(chǎn)品描述：

       此涂膠機(jī)設(shè)備，及勻膠機(jī)的涂布工藝是通過液體的漲力特性實(shí)現(xiàn)，先前國處的麻森理工大學(xué)將此裝置主要用于軍工的科研涂膠工藝，國外主要是用于大尺寸的K9玻璃的涂膠工藝，因?yàn)榇蟪叽绲牟Ａ?、超重量的基板很難用旋轉(zhuǎn)工藝實(shí)現(xiàn)，所以就采用此裝置 ，此設(shè)備主要用于涂布較薄光阻工藝，一般不會(huì)超過1微米厚的光阻。

二、特點(diǎn)：        

1、相對(duì)于旋轉(zhuǎn)涂膠工藝的話，在工藝方面還是不如SPINcoater涂布工藝好；

2、但對(duì)于光阻的提拉涂膠工藝是完全優(yōu)于的，也省光阻、減少工藝工序；

3、目前國內(nèi)比較普遍使用的是刮涂涂膠工藝，刮涂的工藝對(duì)光阻的成膜水平不高，對(duì)于光柵可能也到了極限；

4、鋼帶光柵涂膠設(shè)備省光阻.

三、重要指標(biāo)：  

1、大尺寸、超重理的K9玻璃涂膠工藝就可以實(shí)現(xiàn)

2、光阻的適應(yīng)范圍有限,光刻膠的成膜是均勻性在+/-3%左右（相對(duì)于CP值低于15CP的光阻）；

3、長度方面沒有限制，尤其是鋼帶的長度，寬度方面不益過長