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      勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商
      



      



      



      


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      走近晶圓吸附
      

		
      
	晶圓吸附是指在晶圓表面附著一層化學(xué)物質(zhì)，用以改變晶圓表面的物理化學(xué)性質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體器件的制備和性能調(diào)節(jié)。吸附方式的選擇對(duì)于半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能有著重要影響。	
      
	
	
      
		
      
	來(lái)源:
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	作者:pmoe2a7d5
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	發(fā)布時(shí)間: 2024-01-31
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      全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)ROBOT：ROBOT單元具有芯片尋址定位檢測(cè)（wafer mapping）功能、實(shí)現(xiàn)芯片在個(gè)單元之間的傳輸功能。機(jī)器人附帶有陶瓷或鋁材質(zhì)的手指，傳送芯片時(shí)利用真空吸附固定芯片。Finger:吸附晶圓用于取放。
      #晶圓吸附與勻膠顯影設(shè)備#全自動(dòng)勻膠顯影設(shè)備中的晶圓真空吸附#愛(ài)姆加勻膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)
                    
      
		
      

	
      
  
      


          
		
	
      



      
    
      		
    
      
			
      
								                                
                                
			
      

      



    
      
     
      	


      





 

	  
	


 
  
	

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