量子點(diǎn)專用噴膠設(shè)備，主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體，設(shè)備腔體密封，注入相應(yīng)壓力流量的氮?dú)猓獨(dú)庑柩h(huán)排放過(guò)濾使用。

設(shè)備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼護(hù)板，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成噴膠工藝。

M+M100S－HC屬專用噴膠設(shè)備，

主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體，設(shè)備腔體密封；

注入相應(yīng)壓力流量的氮?dú)?，氮?dú)庑柩h(huán)排放過(guò)濾使用；

設(shè)備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成；

         整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼護(hù)板，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成噴膠工藝