設(shè)備特點(diǎn)：
1、手動(dòng)上下取片
2、自動(dòng)完成滴膠、甩膠、勻膠等工藝
3、自動(dòng)供膠系統(tǒng)，可根使用的膠粘度分別配備不同的PUMP
4、EBR&BSR功能可選配

適用圓片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片

主軸轉(zhuǎn)速：200～7000轉(zhuǎn)/分，誤差±20轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào)；

主軸加速度（空載）：0～3×103rad/秒2，連續(xù)可調(diào)； 
工藝工步時(shí)間：0～999.9秒，設(shè)定增量±0.1秒；