主要組成部分：

該設(shè)備主要由主軸單元、顯影液供給系統(tǒng)（附加恒溫裝置）、清洗系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成，

采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼鏡面護(hù)板，無(wú)發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片，

自動(dòng)完成顯影、清洗、（氮?dú)獯蹈桑┑裙に嚒?/span>

SPIN DEV UNIT 顯影單元參數(shù)：　　　

SPIN MOTOR 離心機(jī)
額定轉(zhuǎn)速（德國(guó)電機(jī)）： 0～5000rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)整量：   　   1rpm
轉(zhuǎn)速精度：       ±1rpm（500~300rpm）
加速度：           20000rpm/s
加速度調(diào)整量：  　 1RPM/S
承片臺(tái)(chuck)
材料：　　　     防靜電PEEK材質(zhì)(兩個(gè))與
晶片接觸方式 ：　　 真空吸附
吸附真空度檢測(cè)： 　 數(shù)顯壓力傳感器