噴霧式涂布機主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機
械,超聲的頻率可調(diào);XY速度-旋轉(zhuǎn)角度-溫度可調(diào)
用途:
噴霧式涂布機主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機械。對應(yīng)于超厚膜涂層,它是很難通過常規(guī)的旋涂機微粒的化學溶液,以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。
主要特點
噴霧式涂布機主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機械。對應(yīng)于超厚膜涂層,
它是很難通過常規(guī)的旋涂機微粒的化學溶液,以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。
被涂覆的部分上,可以形成均勻的膜是困難的,在傳統(tǒng)的離心器,如在基板上的傾斜表面和
梯形槽頂點。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。